Làm sạch bề mặt bằng plasma là một quá trình trong đó các tạp chất và chất gây ô nhiễm trên bề mặt mẫu được loại bỏ bằng cách tạo ra plasma năng lượng cao từ các hạt khí, nó được thiết kế cho các ứng dụng khác nhau như làm sạch bề mặt, khử trùng bề mặt, kích hoạt bề mặt, thay đổi năng lượng bề mặt, chuẩn bị bề mặt để liên kết và bám dính, sửa đổi hóa học bề mặt.